上的光刻胶。无声是因为真空中没有介质传播声波。声波是机械波,需要介质。电磁波不需要介质,可以在真空中传播。光在真空中走了十几米,从光源到硅片,经过了二十几面反射镜的精确整形,最终以几纳米的精度,在光刻胶上画出几亿个晶体管的图案。图案的精度不是完美的,有偏差。偏差是光刻工艺中最顽固的敌人——对准偏差、聚焦偏差、剂量偏差、显影偏差、蚀刻偏差。每一种偏差都在试图把图案从设计值拉偏。拉偏就是误差。误差累积到一定程度,晶体管就会失效。失效就是传断了。 高槿之的工作,就是把误差控制在允许的范围内。控制的方式是冗余和校正。时钟树有冗余路径,关键信号有纠错编码,存储阵列有备用行和列。冗余就是用空间换可靠性。可靠就是信息不丢。不丢就是传到了。 他在fab的控制室里见过一张图,横轴是...
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